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AGV搬运机器人:半导体无尘车间的智能物料转运设备
来源:AGV搬运机器人 | 作者:中电集创(cecjc) | 发布时间 :2025-12-25 | 44 次浏览: | 分享到:
半导体无尘车间(洁净度Class 100)对物料转运的洁净度与精准度要求极高,人工转运易带入灰尘,且难以精准对接无尘货架与生产设备,转运响应时间超20分钟。传统AGV运行时易产生粉尘,无法适配无尘环境。AGV搬运机器人通过无尘化设计,成为半导体无尘车间的专用转运设备。
半导体无尘车间(洁净度Class 100)对物料转运的洁净度与精准度要求极高,人工转运易带入灰尘,且难以精准对接无尘货架与生产设备,转运响应时间超20分钟。传统AGV运行时易产生粉尘,无法适配无尘环境。AGV搬运机器人通过无尘化设计,成为半导体无尘车间的专用转运设备。
核心技术在于无尘化结构与高精度导航。设备采用全封闭外壳设计,表面经过防静电、防尘处理,运行时粉尘排放量≤0.01mg/m³,符合Class 100洁净标准。采用激光SLAM导航,定位精度达±3mm,可自主规划最优转运路径,避让障碍物。配备无尘级升降货叉,升降精度达±0.5mm,可精准对接无尘货架与生产设备。多机协同调度系统可同时管控25台AGV,实现任务自动分配与路径冲突规避。
某半导体企业应用数据显示,12台AGV可替代25名人工转运员,物料转运准确率达99.98%,转运响应时间从20分钟缩短至6分钟。通过与WMS仓储系统对接,实现物料自动出入库,仓储周转效率提升45%。设备运行噪音低于55dB,符合无尘车间环境要求。引入后,车间人工成本降低72%,因转运污染导致的产品不良率降低0.8%,为半导体生产的洁净度与连续性提供保障。













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